旋片式真空泵因泵浦內安置旋片而得名，是一種氣體輸送型真空泵浦。利用泵浦內可變容積而獲得真空。主要有單級和雙極兩種旋片式真空泵。

    雙級旋片真空泵主要組成構件：缸體，轉子，旋片，端蓋、油箱、彈簧

    雙級旋片真空泵工作原理

    旋片泵的旋片把轉子、泵腔和兩個(gè)端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分，當轉子按箭頭方向旋轉時(shí)，與吸氣口相通的空間A 的容積是逐漸增大的，正處于吸氣過(guò)程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的，正處于排氣過(guò)程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的，正處于壓縮過(guò)程。由于空間A的容積是逐漸增大（即膨脹），氣體壓強降低，泵的入口處外部氣體壓強大于空間A內的壓強，因此將氣體吸入。當空間A與吸氣口隔絕時(shí)，即轉至空間B的位置，氣體開(kāi)始被壓縮，容積逐漸縮小，zui后與排氣口相通。當被壓縮氣體超過(guò)排氣壓強時(shí)，排氣閥被壓縮氣體推開(kāi)，氣體穿過(guò)油箱內的油層排至大氣中。由泵的連續運轉，達到連續抽氣的目的。如果排出的氣體通過(guò)氣道而轉入另一級（低真空級），由低真空級抽走，再經(jīng)低真空級壓縮后排至大氣中，即組成了雙級泵。這時(shí)總的壓縮比由兩級來(lái)負擔，因而提高了極限真空度。

    雙級旋片真空泵特點(diǎn)：

    1.結構簡(jiǎn)單緊湊，易以維護和保養。

    2. 采用風(fēng)冷散熱，無(wú)需冷卻水。.

    3.電機與泵體采用直連方式，解決了傳統皮帶及齒輪松弛損耗問(wèn)題，同時(shí)噪音更低。

    4.內置能排氣過(guò)濾器，所抽氣體可以直接排放，無(wú)污染。

    5. 進(jìn)氣口有逆止閥,當泵浦停止時(shí),此逆止閥可隔離泵浦于系統,避免真空油逆流.

    6. 低震動(dòng),不需用基礎螺拴固定泵浦。

    7. 運轉聲音小。

    8. 具氣體壓載閥,可適用於蒸氣之制程。

    9.即在真空度0.5mbar到40mbar之間進(jìn)入泵浦入口之水蒸氣,會(huì )從泵浦出氣口*排出,而不會(huì )在泵浦內發(fā)生凝結現象。